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       X熒光光譜儀可以對(duì)樣品做定性分析和半定量分析檢測(cè)，元素周期表上大部分元素均可以檢測(cè)出，但是如果要做定量分析，需要一定的方法。

       X射線熒光光譜的定量分析往往需要用一組與未知樣相同類(lèi)型的標(biāo)樣以建立校正曲線，這使許多人望而怯步，因?yàn)檫@樣的標(biāo)樣有時(shí)很難獲得。不少送樣者則是希望得到各種新材料及使用過(guò)程中發(fā)生變化的材料的快速成分剖析，或工業(yè)廢棄物中有害元素的快速測(cè)定，他們希望不破壞樣品的原始狀態(tài)而得到近似定量分析的結(jié)果。對(duì)于完全未知試樣，在定量之前也需要其半定量分析的數(shù)據(jù)，在用X射線熒光光譜進(jìn)行復(fù)雜未知物的物相分析時(shí)往往希望知道未知物的成分及大致合量等等，均對(duì)X射線熒光光譜的半定量分析提出了強(qiáng)有力的需求。

元素準(zhǔn)確分析

       制定定量分析方法基本步驟為：

       （1）根據(jù)樣品和標(biāo)樣的物理形態(tài)和對(duì)分析精確與準(zhǔn)確度的要求，決定采用何種制樣方法。制樣方法一經(jīng)確認(rèn)，應(yīng)了解所確認(rèn)的制樣方法的制樣誤差，制樣誤差應(yīng)小于分析方法對(duì)精度的要求；

       （2）用標(biāo)準(zhǔn)樣品選擇分析條件，如X射線管管壓、管流、原級(jí)譜濾光片、晶體、脈沖高度分析器和測(cè)量時(shí)間等等；

       （3）制定工作曲線；

       （4）用標(biāo)準(zhǔn)樣品驗(yàn)證分析方法可靠性及其分析數(shù)據(jù)的不確定度，以確認(rèn)所制定分析方法的適用范圍。

       定量分析方法從樣品制備角度出發(fā)，可分為粉末壓片法、熔融法、固體試樣法和薄試樣法。若按基體校正方法進(jìn)行劃分，則可分為實(shí)驗(yàn)校正法、影響系數(shù)法和基本參數(shù)法，這些方法又可相互滲透。